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解決方案與產品應用
激光式位移傳感器 - 新世聯傳感器
更新時間:2023-01-05 17:15:57
應用介紹
以下是引用片段: 工作原理 利用激光的相干性,以激光波長為基準,測量干涉條紋的變化來達到測位移的目的。主要裝置為邁克爾遜干涉儀。其工 作原理如圖1.15.1所示。圖中A為激光器。 它作為光源,產生一沄波長的激光,經透鏡組成的準直系統后,投射到分束器C上。一部分透過C入射到反射鏡M2并被反射 鏡M2反射后,經C再次反射,投射光電接 收器B;另一部分經C反射到反射鏡M1再被M1反射后也入射到B上。因而投射到B上的兩束光產生干涉,由光電接收器B接收到max峰值的干涉條紋,并經B轉換為電 脈沖信號。由于M2固定在被測物E上,而E可以左右移動,當E發生移動時,干涉條紋產生位移,光電接收器接收到的光強發生變化,使電脈沖個數發生變化,因此經計數系統計數后,便可知對應的位移變化。圖中D為M2的虛像。 設激光光強為I0,分束器的反射系數和透射系數都為1/2,則光電接收器接收到的總光…… |