§2.3.1 屯感式

在長度、厚度測量中，其傳感器常用差動電感式或螺管形差動變壓器式（LVDT）位移傳感器配以相應的機械連接部分構成，整個機抅的max測量范圍在2米以內。一般常用差動電感式或螺管形差動變壓器式傳感器制成數字式電子千分表，max分辨力可達0.01微米，量程1毫米至百余毫米；數字式電子千分卡尺，max分辨力為0.1微米，max量程數百毫米。 電子千分表(或電子千分卡尺）與機械式的相比，其優點是能數字顯示，消除人眼讀數時的觀 察誤差，精度高，可輸出至微型計箅機進行數據處理；缺點是價格較機械式的千分表（或千 分卡尺）昂資。

在厚度測量中，其傳感器可用兩個差動電感式或螺管形差動變壓器式位移傳感器組成。 測量時將兩個位移傳感器安裝在被測厚度的正面和反面，把正、反面的測量讀數（或兩者讀數的變化），經過電子線路(或微型計箅機）換算，彼此相減，即可得到所測的厚度值或厚度

的變化值。

有關差動電感式及螺管差動變壓器式位移傳感器的工作原理及結構，在第一章中已敘述， 在此不再贅述。

§2.3.2 電渦流式

工作原理  電渦流式測厚有反射式和透射式兩類，其原理分述如下。 1.反射式電渦流測厚

利用電渦流式位移傳感器測量金屬板的厚度是電渦流式傳感器的主要應用之一。圖2.3.1